随着生产的发展,高精度齿轮运转的平稳性受到重视。1674年丹麦天文学家罗默首次提出用外摆线作齿廓曲线,以得到运转平稳的高精度齿轮。
18世纪工业革命时期,高精度齿轮技术得到高速发展,人们对高精度齿轮进行了大量的研究。1733年法国数学家卡米发表了齿廓啮合基本定律;1765年瑞士数学家欧拉建议采用渐开线作齿廓曲线。
19世纪出现的滚齿机和插齿机,解决了大量生产高精度高精度齿轮的问题。1900年,普福特为滚齿机装上差动装置,能在滚齿机上加工出斜高精度齿轮,从此滚齿机滚切高精度齿轮得到普及,展成法加工高精度齿轮占了压倒优势,渐开线高精度齿轮成为应用最广的高精度齿轮。
1899年,拉舍最先实施了变位高精度齿轮的方案。变位高精度齿轮不仅能避免轮齿根切,还可以凑配中心距和提高高精度齿轮的承载能力。1923年美国怀尔德哈伯最先提出圆弧齿廓的高精度齿轮,1955年苏诺维科夫对圆弧高精度齿轮进行了深入的研究,圆弧高精度齿轮遂得以应用于生产。这种高精度齿轮的承载能力和效率都较高,但尚不及渐开线高精度齿轮那样易于制造,还有待进一步改进。